|
II. »ç¾÷ÀÇ ³»¿ë
1. »ç¾÷ÀÇ °³¿ä
´ç»ç´Â ¹ÝµµÃ¼³ª FPD(Flat Panel Display) °øÁ¤ ¹× ±âŸ LED, Solar Cell °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëÈÄ ¹èÃâµÇ´Â À¯ÇØ°¡½ºµéÀ» Á¤È½ÃÄÑÁÖ´Â °¡½ºÁ¤ÈÀåÄ¡ÀÎ Scrubber¿Í, ¹ÝµµÃ¼ Main °øÁ¤»ó¿¡ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¿ÂµµÀ¯Áö¸¦ Á¦°øÇÏ´Â ¿ÂµµÁ¶Àý ÀåÄ¡ÀÎ ChillerÁ¦Ç° Á¦Á¶¸¦ ÁÖ¿ä »ç¾÷À¸·Î ¿µÀ§ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
* Á¾¼Ó±â¾÷ÀÇ °³¿ä
- 2014³â 06¿ù 30ÀÏ ÇöÀç ¿¬°á´ë»ó Á¾¼Ó±â¾÷ÀÇ ÇöȲÀº ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù.
| Á¾¼Ó±â¾÷ |
¼ÒÀ¯ÁöºÐÀ²(%) |
¼ÒÀçÁö |
°á»ê¿ù |
¾÷Á¾ ¹× »ç¾÷³»¿ë |
| (ÁÖ)ÀÌ¿¡½ºÆ¼ |
60 |
Çѱ¹ |
12¿ù |
ÈÇÕ¹° ¹× ÈÇÐÁ¦Ç°
¹ÝµµÃ¼Àåºñ ¹× ºÎºÐÇ° µî |
| GST America, Inc |
100 |
¹Ì±¹ |
12¿ù |
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¹× ºÎÇ°°ü·Ã À¯Áöº¸¼ö,
¼ºñ½º¾÷ µî ¹Ì±¹ ³» ¿µÀ§ |
| GST China. Inc |
100 |
Áß±¹ |
12¿ù |
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ¹× ºÎÇ°°ü·Ã À¯Áöº¸¼ö,
¼ºñ½º¾÷ µî Áß±¹ ³» ¿µÀ§ |
- »ç¾÷ºÎ¹®º° ¿ä¾à À繫ÇöȲ(¿¬°á±âÁØ)
(´ÜÀ§: ¹é¸¸¿ø)
| »ç¾÷ºÎ¹® |
Á¦ 14±â ¹Ý±â |
Á¦ 13±â |
Á¦ 12±â |
Á¦ 11±â |
| ¸ÅÃâ¾× |
¿µ¾÷¼ÕÀÍ |
¸ÅÃâ¾× |
¿µ¾÷¼ÕÀÍ |
¸ÅÃâ¾× |
¿µ¾÷¼ÕÀÍ |
¸ÅÃâ¾× |
¿µ¾÷¼ÕÀÍ |
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë
±â°èÁ¦Á¶¾÷, À¯Áöº¸¼ö µî |
41,697 |
5,072 |
80,983 |
7,530 |
64,812 |
8,121 |
41,504 |
4,087 |
| ÇÕ °è |
41,697 |
5,072 |
80,983 |
7,530 |
64,812 |
8,121 |
41,504 |
4,087 |
°¡. ¾÷°èÀÇ ÇöȲ
(¥¡) »ê¾÷ÀÇ Æ¯¼º
¹ÝµµÃ¼³ª FPD(Flat Panel Display) °øÁ¤ ¹× ±âŸ LED, Solar Cell °øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÇ°í ¹èÃâµÇ´Â °¡½ºµéÀº À¯Çؼº ¹× Æø¹ß¼ºÀÌ °Çϸç, °ÇÑ ºÎ½Ä¼ºÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ À̸¦ ÀûÀýÈ÷ Á¤ÈÇØ ÁÖÁö ¾ÊÀ» °æ¿ì ÀÎü´Â ¹°·Ð ȯ°æ±îÁö Ä¡¸íÀûÀÎ ºÎÀÛ¿ëÀ» À¯¹ß ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÇ »ý»ê¼º¿¡µµ ºÎÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê Ãʱ⠴ܰèÀÎ 1970³â´ë ÃʺÎÅÍ ÀÌ·¯ÇÑ À¯ÇØ°¡½ºµé¿¡ ´ëÇÑ Ã³¸®¹æ¾ÈÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üÀÇ ÁÖ¾ÈÁ¡ÀÌ µÇ¾î ¿Ô½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå Ãʱ⿡´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê°øÀå ¿Áž¿¡ ¼³Ä¡µÇ¾î ÀÖ´Â ¿Áž ScrubberÇüÅ·ΠÁ÷Á¢ ¿¬°áÀ» ÅëÇÏ¿© ¹èÃâ°¡½ºµéÀº Á¤ÈÇÏ¿´À¸¸ç, ÀÌÈÄ ¼ö(â©)󸮸¦ ÅëÇÏ¿© À¯ÇØ°¡½º¸¦ Á¤È½ÃÅ°´Â Wet¹æ½Ä°ú ÈÇоàÁ¦¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Dry¹æ½ÄÀÌ °³¹ßµÇ¾ú½À´Ï´Ù. 1990³â´ë Áß¹Ý µ¶ÀÏÀÇ DAS ¹× CentrothermÞä¿¡¼ °³¹ßÇÑ Burn Wet ¹æ½ÄÀº ÀÌÀü±îÁö °³¹ßµÈ Scrubber°¡ °¡Áö°í ÀÖ¾ú´ø ¹èÃâ°¡½º ó¸®ÀÇ ¾î·Á¿ò°ú À¯Áöº¸¼ö Ãø¸éÀÇ °íºñ¿ëÀ̶ó´Â µÎ°¡Áö ¹®Á¦¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÇØ°áÇÔ¿¡ µû¶ó 1990³â´ë¸» ÀÌÈÄ ½ÃÀå Á¡À¯À²À» ³ô¿© ÇöÀç±îÁö ƯÁ¤ °øÁ¤À» Á¦¿ÜÇÑ ¸ðµç °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÁßÀ̸ç ÇâÈÄ »ó´ç±â°£ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ½ÃÀå¿¡¼ °¼¼ ±âÁ¶¸¦ À¯Áö ÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆǴܵ˴ϴÙ. ÇÏÁö¸¸ Burn-Wet¹æ½Äµµ ¼ö¼Ò³ª õ¿¬°¡½º(LNG)¸¦ ¿¬·á·Î »ç¿ëÇÏ¿©¾ß Çϸç 2Â÷ ºÎ»ê¹° ¹èÃâ µî ÀÇ ¹®Á¦Á¡ÀÌ ÀÖ¾î 2000³â´ë ÃʹÝÀÌÈÄ ´Ù¼öÀÇ È¸»çµéÀÌ Plasma°øÁ¤±â¼úÀ» ÀÀ¿ëÇÑ Plasma¹æ½ÄÀÇ Scrubber(´ç»ç ±âº¸À¯ Á¦Ç°)¸¦ °³¹ßÇÏ¿´À¸¸ç 2000³â´ë Áß¹ÝÀÌÈÄ ½ÃÀ尳ôÀÌ ÀÌ·ç¾î Áö°í ÀÖ°í Á¡Â÷ È°¼ºÈ µÇ°í ÀÖ´Â Ãß¼¼ÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD°øÁ¤ÀÇ ´ëÇüÈ·Î °¡½ºÃ³¸® ¶ÇÇÑ ´ëÀ¯·®À» ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 3,000~5,000LPM±Þ Scrubber°¡ °³¹ßµÇ¾îÁö°í ÀÖÀ¸¸ç LCD Etch°øÁ¤¿¡¼ ¹èÃâµÇ´Â PFCs Gas¸¦ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´ë¿ë·® Burn Wet¹æ½Ä ¹× °í¿Â Heater¹æ½ÄÀÇ Scrubber°¡ °³¹ßµÇ¾îÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
(¥¢) »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀ强
¹ÝµµÃ¼ÀÇ °æ¿µÈ¯°æÀº ±×µ¿¾È ¸î Â÷·Ê ±¸Á¶Á¶Á¤À» °ÅÄ¡¸ç 1995³âÀÇ 15°³¿¡¼ ÇöÀç Çѱ¹2°³»ç¿¡ ¸¶ÀÌÅ©·ÐÀ» ´õÇÑ "ºò3"·Î ¾ÐÃàµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, 2010³âÀ» °æ°è·Î Å©°Ô ¼ºÀåÇÔ¿¡ µû¶ó, Scrubber ½ÃÀå ¿ª½Ã ÀÌ °°Àº Ãß¼¼¿¡ µ¿Á¶ÇÏ´Â ¼ºÇâÀ» º¸¿´½À´Ï´Ù.
ÇâÈÄ Áö±¸¿Â³È µîÀÇ ¹®Á¦·Î PFCs Gas 󸮰¡ ÁÖ¿ä Issue·Î ºÎ°¢µÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÌ¸é¼ ±¹³»»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó Áß±¹, ´ë¸¸°ú °°Àº ¹ÝµµÃ¼¾÷ü¿¡¼µµ PFCs Gas¸¦ ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Gas Scrubber¸¦ ÇÊ¿ä·Î ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÔ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ, °øÁ¤ÀÇ °íÁýÀûÈ¿Í °¡½º»ç¿ëÀÇ Áõ°¡·Î ó¸®ÇØ¾ß ÇÏ´Â ¿À¿°¹°ÁúÀÌ ´Ù¾çÇØÁü¿¡ µû¶ó ÇöÀç Gas scrubber¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¾Ê´Â °øÁ¤ ¹× Fab¿¡¼µµ ÇâÈÄ¿¡´Â ´Ù¾çÇÑ ±â´ÉÀÇ Scrubber¿¡ ´ëÇÑ ¼ö¿ä âÃâÀÌ ÀÌ·ç¾î Áú °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµË´Ï´Ù.
(¥£) °æ±âº¯µ¿ÀÇ Æ¯¼º
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ»ê¾÷ÀÇ °æ±â´Â Àü¹æ»ê¾÷ÀÎ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ»ê¾÷ÀÇ ¼³ºñÅõÀÚ¿¡ Á¾¼ÓµÇ´Â °æÇâÀ» ³ªÅ¸³»°í ÀÖÀ¸¸ç, ÁÖ±âÀûÀÎ ½Ç¸®ÄÜ»çÀÌŬÀ̶ó´Â Ư¡Àû °æ±âº¯µ¿À» Áö¼ÓÇØ ¿Ô½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª, ÃÖ±Ù ÀÎÅͳݰú Á¤º¸Åë½ÅÀÇ ¹ß´Þ·Î ÀÎÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ °æ±âº¯µ¿ÀÇ »çÀÌŬÀÌ ´Ù¼Ò º¯ÈÇÏ´Â ¾ç»óÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç ¾ÕÀ¸·Î Áö±¸ ¿Â³È, ¿¡³ÊÁö ¹®Á¦, ȯ°æ ¹®Á¦ µîÀÇ »õ·Î¿î ½ÃÀåÀÌ ¼ºÀåµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÊ¿¡ µû¶ó ´Ù¼öÀÇ ¾÷ü¿¡¼ ¼³ºñÅõÀÚ¸¦ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ½Ç½ÃÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆǴܵ˴ϴÙ.
(¥¤) °æÀï¿ä¼Ò
½ÃÀå°ú ±â¼ú¼±Á¡¿¡ ÀÇÇÑ ÇнÀÈ¿°ú¿Í ÁøÀÔÀ庮ÀÌ ³ôÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ»ê¾÷ÀÇ Æ¯¼º»ó ¸Å¿ì ±î´Ù·Î¿î ¿ä±¸Á¶°Ç°ú Å×½ºÆ®¸¦ °ÅÃľ߸¸ Á¦Ç°ÀÇ ³³Ç°ÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù. Gas Scrubber¸¦ »ý»êÇÏ´Â ±¹³»¿Ü ¾÷ü´Â ´ç»ç¸¦ ºñ·ÔÇÏ¿©, CSK(CS), À¯´Ï¼À, ¼¼ÁøÀüÀÚ(MAT), KPC(JPC), DAS, Centrothem, Metron(Ecosys), Edward, Kanken ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
(¥¥) ÀÚ¿øÁ¶´ÞÀÇ Æ¯¼º
¹ÝµµÃ¼ Àåºñ»ê¾÷Àº ¾÷Á¾ Ư¼º»ó °í°´À¸·ÎºÎÅÍ ÁÖ¹®À» ¹Þ¾Æ »ý»êÇÏ´Â °æ¿ì°¡ ´ëºÎºÐÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌÀ¯·Î »ý»ê¹æ½ÄÀÌ ¼ö¿ä¿¹Ãø¿¡ ÀÇÇÏ¿© Á¦Ç°À» »ý»ê ÃâÇÏÇÏ´Â ÀϹÝÁ¦Á¶¾÷°ú´Â ´Ù¸£¸ç, ´ë·®»ý»êÀÌ Çö½ÇÀûÀ¸·Î ¾î·Æ½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼Àåºñ¾÷ü´Â ÀϹÝÀûÀ¸·Î ÁÖ¹®»ý»ê¹æ½ÄÀ» È¿À²ÀûÀ¸·Î ¿î¿µÇϱâ À§Çؼ ¼Ò¸ðÇ°À» Á¦¿ÜÇÏ°í´Â ½Å¼ÓÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÏ´Â Àü¹®ÈµÈ ±â¾÷À¸·ÎºÎÅÍ ¿øÀÚÀ縦 Á¶´Þ¹Þ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
(¥¦) °ü·Ã¹ý·É ¶Ç´Â Á¤ºÎÀÇ ±ÔÁ¦ µî
¹ÝµµÃ¼Àåºñ»ê¾÷¿¡¸¸ Àû¿ëµÇ´Â °ü°èº±·ÉÀ̳ª Á¤ºÎÀÇ ±ÔÁ¦´Â º°µµ·Î Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ´Ù¸¸, Ãֱ٠ȯ°æ¹®Á¦´Â Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î À̽´°¡ µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±³ÅäÀÇÁ¤¼ ¹× ¹Ì±¹¿¡³ÊÁö±¹(DOE) °ú ¹Ì±¹È¯°æº¸È£±¹(EPA)ÀÇ ENERGY STAR Program °ú National Building Energy Rating ProgramÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿©, À¯ÇØ°¡½º¸¦ Á¦°ÅÇÏ´Â Gas Scrubber µî ģȯ°æ ¹ÝµµÃ¼ÀåºñµéÀº ¼öÇý¸¦ ¹ÞÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹Á¦½ÃÀå¿¡¼ Çѱ¹ÀÌ 2015³â ¹èÃâ°¨Ãà´ë»ó±¹¿¡ Æ÷ÇԵǾúÀ¸¸ç, ±× ÀÏȯÀ¸·Î ±¹°¡Àû Â÷¿øÀÇ ´ëÀÀ¼ö¸³À» À§ÇÏ¿© "Àúź¼Ò ³ì»ö¼ºÀå±âº»¹ý"ÀÌ 2010³â 4¿ù 14ÀϺηΠ½ÃÇàµÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
³ª. ȸ»çÀÇ ÇöȲ
(¥¡) ¿µ¾÷°³È²
´ç»ç´Â 2001³â Gas Scrubber¿¡ ¸¹Àº °æÇè°ú ³ëÇϿ츦 °¡Áö°í ÀÖ´ø ±è´öÁØ´ëÇ¥ÀÌ»ç¿Í ÀÓÁ÷¿øÀÌ Ã¢¾÷ÇÑ ÀÌ·¡ Gas Scrubber¸¦ °è¼ÓÀûÀ¸·Î ±¹»êÈÇÏ¸ç ²ÙÁØÈ÷ ±â¼ú·Â°ú ¸ÅÃâÀ» Áõ´ë½ÃÄÑ ¿Ô½À´Ï´Ù. ¹ÝµµÃ¼ºÐ¾ßÀÇ Æ¯¼º»ó ½ÃÀåÁøÀÔ¿¡ ¾î·Á¿òÀÌ ¸¹¾ÒÁö¸¸ ±¹»êÈ ±â¼ú°³¹ßÀ̶ó´Â ´ë¸íÁ¦¿¡ ¶Ù¾î³ ±â¼ú·Â°ú ºÐ¼®·Â, A/S·Î ½ÃÀåÁøÀÔÇÏ¿´À¸¸ç, ±× ÀÌÈÄ·Î ½ÃÀåÀ» ¾Õ¼°¡´Â ¼±Áø±â¼úÀÇ °³¹ß·Î ±¹³»½ÃÀå¿¡¼ ÁöÀ§¸¦ ±¸ÃàÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ÀÌÁ¦ ´ç»ç´Â ±¹³»¿¡¼ÀÇ ¼º°øÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇؿܽÃÀåÀÇ °³Ã´¿¡ ÁÖ¾ÈÁ¡À» µÎ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
(¥¢) °ø½Ã´ë»ó »ç¾÷ºÎ¹®ÀÇ ±¸ºÐ
| »ç¾÷ºÎ¹® |
Ç¥ÁØ»ê¾÷ºÐ·ùÄÚµå |
»ç¾÷³»¿ë |
ÁÖ¿äÁ¦Ç° |
| ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ±â°èÁ¦Á¶¾÷, À¯Áöº¸¼ö µî |
C2929 |
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë Àåºñ |
Scrubber,
Chiller µî |
(¥£) ½ÃÀåÁ¡À¯À²
Scrubber ½ÃÀåÀÇ °æ¿ì Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î ¾à 10¿©°³»ç°¡ °æÀï¾ç»óÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Àü¼¼°è Áø°ø Pump 1À§¾÷üÀÎ Edward´Â ±âÁ¸ Pump »ç¾÷ÀÇ Service NetworkÀ» È°¿ë, À¯·´ ¹× µ¿³²¾Æ ½ÃÀå¿¡¼ °¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀϺ»ÀÇ °æ¿ì´Â Kanken, Ebara µîÀÌ ÀÚ±¹ ½ÃÀå¿¡¼ÀÇ ¿ìÀ§¸¦ ¹ßÆÇÀ¸·Î ´ë¸¸¿¡¼ È°¹ßÇÑ ¿µ¾÷È°µ¿À» ÆîÄ¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Burn-Wet ScrubberÀÇ ¼±µÎÁÖÀÚÀÎ µ¶ÀÏÀÇ DAS»ç¿Í CentrothermÀº µ¶ÀÏÀÇ Dry Scrubber Á¦Á¶¾÷üÀÎ CS»ç¿Í ÇÔ²² À¯·´ ¹× Áß±¹, ´ë¸¸¿¡¼ Scrubber ½ÃÀåÀÇ ÀϺκÐÀ» Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â µî ½ÃÀåÀº °¥¼ö·Ï °æÀïÀÌ ½Éȵǰí ÀÖ´Â ¾ç»óÀ» º¸ÀÌ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
±¹³»½ÃÀåÀÇ °æ¿ì Burn-Wet Scrubber°¡ ½ÃÀåÁö¹è·ÂÀ» °ÈÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, »ó´ëÀûÀ¸·ÎHeat-Wet Scrubber¿Í Dry Scrubber°¡ ½ÃÀåÁö¹è·ÂÀ» »ó½ÇÇÏ°í ÀÖ´Â ¾ç»óÀ» ³ªÅ¸³»°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÇöÀç ±¹³»ÀÇ Gas Scrubber ½ÃÀå±Ô¸ð¿¡ ´ëÇÑ °ø½Å·Â ÀÖ´Â Åë°èÀÚ·á´Â ¹ßÇ¥µÇÁö ¾Ê°í ÀÖ´Â »óȲÀÔ´Ï´Ù.
(¥¤) ½ÃÀåÀÇ Æ¯¼º
´ç»ç´Â ±¹³» ¹ÝµµÃ¼/µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶¾÷ü ¹× Àåºñ¾÷ü¸¦ ÁÖ¿ä½ÃÀåÀ¸·Î ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ±¹³»ÀÇ °æ¿ì ¿µ¾÷ ¹× ¼ºñ½º ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ÅëÇÑ Áö¼ÓÀûÀÎ ¸ÅÃâÈ®´ë¸¦ ²ÒÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÇØ¿ÜÀÇ °æ¿ì ÇØ¿Ü ÇöÁöÆǸŸÁÀÇ È®º¸¸¦ ÅëÇÏ¿© ÇØ¿ÜÁøÃâÀ» ¸ð»öÇØ ¿ÔÀ¸¸ç, ÀǹÌÀÖ´Â ¼º°ú¸¦ ³»°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
´Ù. ÇâÈÄ ÃßÁøÇÏ·Á´Â ½Å±Ô»ç¾÷
º¸°í¼ Á¦ÃâÀÏ ÇöÀç ÀÌ»çȸ°áÀÇ ¶Ç´Â ÁÖÁÖÃÑȸ °áÀǸ¦ ÅëÇÏ¿© ÇâÈÄ ÃßÁøÇϱâ·Î È®Á¤µÈ »ç¾÷Àº ¾ø½À´Ï´Ù.
2. ÁÖ¿äÁ¦Ç°, ¼ºñ½º µî
°¡. ÁÖ¿äÁ¦Ç° µîÀÇ ÇöȲ(¿¬°á±âÁØ)
»ç¾÷
ºÎ¹® |
¸ÅÃâ
À¯Çü |
Ç° ¸ñ |
±¸Ã¼Àû¿ëµµ |
ÁÖ¿ä
»óÇ¥ µî |
¸ÅÃâ¾× |
ºñÀ²(%) |
¹ÝµµÃ¼
Á¦Á¶¿ë
Àå ºñ |
Á¦Ç° |
Scrubber |
À¯ÇØ°¡½º Á¦°Å¿ë |
Dragon DUO,
MK¥², Gallant µî |
26,987,114 |
65% |
| ±âŸ |
- |
EHD-08-DL,
EES-08-DLC µî |
5,006,786 |
12% |
| »óÇ° |
- |
- |
- |
1,248,719 |
3% |
| ¿ë¿ª |
- |
- |
- |
8,454,264 |
20% |
| °è |
- |
- |
- |
41,696,883 |
100% |
³ª. ÁÖ¿äÁ¦Ç° °¡°Ýº¯µ¿ÃßÀÌ
| Ç° ¸ñ |
Á¦14±â ¹Ý±â |
Á¦13±â |
Á¦12±â |
Á¦11±â |
| Scrubber |
54,786 |
49,810 |
47,458 |
49,531 |
| - ÁÖ¿ä Á¦Ç° µîÀÇ ÇöȲ'¿¡¼ ±¸ºÐµÈ Ç°¸ñÀ» ±âÁØÀ¸·Î ÇÏ¿© ¼±Á¤ÇÏ¿´À¸¸ç, ¸ÅÃâ±Ý¾×À» ¸ÅÃâ¼ö·®À¸·Î ³ª´« ´Ü¼øÆò±Õ°¡°ÝÀ» Àû¿ëÇÏ¿´½À´Ï´Ù. »ó±â Á¦Ç°ÀÇ °¡°ÝÀº °í°´ÀÇ ÁÖ¹®¿¡ µû¶ó»ý»êÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÇ Æ¯¼º»ó µ¿ÀÏÇ°¸ñÀÇ °æ¿ì¿¡µµ ÁÖ¹®Ã³¿Í »ç¾ç¿¡ µû¶ó ´Ù¼Ò Â÷ÀÌ°¡ ¹ß»ýÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. |
3. ÁÖ¿ä ¿øÀç·á¿¡ °üÇÑ »çÇ×
°¡. ÁÖ¿ä¿øÀç·á ±¸ÀÔÇöȲ(º°µµ±âÁØ)
| Á¦14±â ¹Ý±â (´ÜÀ§ : õ¿ø) |
| »ç¾÷ºÎ¹® |
¸ÅÀÔÀ¯Çü |
°ü°è |
¸ÅÀÔ¾× |
ºñ°í |
¹ÝµµÃ¼
Àåºñ |
¿øÀç·á |
Ư¼ö
°ü°è |
4,545,058 |
Ư¼ö°ü°èó: ÀÌ¿¡½ºÆ¼ |
ÀϹÝ
°Å·¡ |
20,851,196 |
- |
| ÇÕ°è |
25,396,254 |
- |
³ª. ÁÖ¿ä¿øÀç·á °¡°Ýº¯µ¿ÃßÀÌ(º°µµ±âÁØ)
| Ç° ¸ñ |
Á¦14±â ¹Ý±â |
Á¦13±â |
Á¦12±â |
Á¦11±â |
| CABINET ASS'Y |
2,273 |
1,474 |
1,724 |
1,430 |
| MFC |
805 |
725 |
1,001 |
679 |
| °¡°ÝÀº ±¸¸Å±Ý¾×À» ±¸¸Å¼ö·®À¸·Î ³ª´©¾î ´Ü¼øÆò±Õ °è»êÇß½À´Ï´Ù. ÇÑÆí, »ó±â ¿øÀç·á´Â Á¦Ç°º° Ư¼º ¹× ±Ô¸ð¿¡ µû¶ó ´Ü°¡°¡ »óÀÌÇÕ´Ï´Ù. µû¶ó¼ »ê¼úÆò±Õ¿¡ ÀÇÇÏ¿© °è»êµÈ °¡°ÝÀ̹ǷΠ°¡°Ýº¯µ¿¾×¸¸Å ½Ç±¸¸Å°¡°ÝÀÌ º¯µ¿µÈ °ÍÀ» ÀǹÌÇÏÁö´Â ¾ÊÀ¸¹Ç·Î Âü°íÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
4. »ý»ê ¹× ¼³ºñ¿¡ °üÇÑ »çÇ×
°¡. »ý»ê´É·Â ¹× »ý»ê´É·ÂÀÇ »êÃâ±Ù°Å
´ç»ç´Â ƯÁ¤°í°´À» ´ë»óÀ¸·Î ¼öÁÖ»ý»êÀ» ÁøÇàÇÏ´Â »ç¾÷Ư¼º»ó ¸¶ÄÉÆðú °í°´ ¿ä±¸ÀÇ ´Ù¾çÈ¿¡ ´ëÀÀÅ° À§Çؼ´Â ÀæÀº »ý»ê ¸ðµ¨ ÀüȯÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ°í, ¸ðµ¨º° »ý»ê¼Ò¿ä½Ã°£¿¡ Â÷ÀÌ°¡ Àֱ⠶§¹®¿¡ »ý»ê´É·ÂÀ» È¿À²ÀûÀ¸·Î »êÃâÇϱ⿡´Â ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ, ´ç»çÀÇ »ý»ê´É·ÂÀº »ý»ê½Ã¼³º¸´Ù´Â Á¶¸³°ø°£°ú »ý»êÀη ÅõÀÔ¿¡ µû¶ó Á¿ìµÇ±â¶§¹®¿¡ º°µµ·Î »ý»ê´É·ÂÀ» »êÃâÇÏÁö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù. µû¶ó¼, »ý»ê´É·ÂÀÇ »êÃâ±Ù°Å´Â ±âÀ縦 »ý·«ÇÕ´Ï´Ù.
³ª. »ý»ê½ÇÀû ¹× °¡µ¿·ü
| »ç¾÷ºÎ¹® |
Ç° ¸ñ |
»ç¾÷¼Ò |
Á¦14±â ¹Ý±â |
Á¦13±â |
Á¦12±â |
Á¦11±â |
¹ÝµµÃ¼
Á¦Á¶¿ë
Àå ºñ |
Scrubber |
Áøõ |
242 |
628 |
695 |
532 |
| ±âŸ |
Áøõ |
406 |
445 |
171 |
238 |
| Àü ü ÇÕ °è |
648 |
1,073 |
866 |
770 |
1) »ý»ê½ÇÀûÀº ¼ö·®±âÁØÀ¸·Î ÀÛ¼ºÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
2) ¹ÝµµÃ¼Àåºñ Á¦Á¶¾÷ÀÇ Æ¯¼º»ó »ý»ê´É·ÂÀ» »êÃâÇÏÁö ¾Ê¾Æ¼ °¡µ¿·ü »êÃâÀº ±âÀ縦
»ý·« ÇÕ´Ï´Ù. |
´Ù. ¼³ºñ¿¡ °üÇÑ »çÇ×
(¥¡) ÁÖ¿ä »ý»ê¼³ºñ ÇöȲ(¿¬°á±âÁØ)
(´ÜÀ§ : ¹é¸¸¿ø)
| °èÁ¤°ú¸ñ |
±âÃÊ |
Áõ°¨ |
°¨°¡
»ó°¢ |
±â¸» |
ºñ°í |
| Áõ°¡ |
°¨¼Ò |
| Åä Áö |
8,211 |
- |
- |
- |
8,211 |
- |
| °Ç ¹° |
8,076 |
|
|
108 |
7,968 |
- |
| ±â °è Àå Ä¡ |
211 |
|
|
14 |
197 |
- |
5. ¸ÅÃâ¿¡ °üÇÑ »çÇ×
°¡. ¸ÅÃâ½ÇÀû(¿¬°á±âÁØ)
(´ÜÀ§ : õ¿ø, %)
»ç¾÷
ºÎ¹® |
¸ÅÃâÀ¯Çü |
Ç°¸ñ |
±¸ºÐ |
Á¦14±â ¹Ý±â |
Á¦13±â |
Á¦12±â |
Á¦11±â |
| ¸ÅÃâ¾× |
ºñÁß |
¸ÅÃâ¾× |
ºñÁß |
¸ÅÃâ¾× |
ºñÁß |
¸ÅÃâ¾× |
ºñÁß |
| ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶¿ëÀåºñ |
Á¦Ç° |
Scrubber |
¼öÃâ |
7,074,624 |
17.0% |
15,111,962 |
18.7% |
6,937,554 |
10.7% |
3,671,275 |
8.8% |
| ³»¼ö |
19,912,490 |
47.8% |
27,681,597 |
34.2% |
33,248,696 |
51.3% |
20,054,000 |
48.3% |
| ¼Ò°è |
26,987,114 |
64.7% |
42,793,559 |
52.8% |
40,186,250 |
62.0% |
23,725,275 |
57.2% |
| ±â Ÿ |
¼öÃâ |
1,793,066 |
4.3% |
7,041,280 |
8.7% |
- |
0.0% |
- |
0.0% |
| ³»¼ö |
3,213,720 |
7.7% |
10,157,380 |
12.5% |
7,824,051 |
12.1% |
3,055,630 |
7.4% |
| ¼Ò°è |
5,006,786 |
12.0% |
17,198,660 |
21.2% |
7,824,051 |
12.1% |
3,055,630 |
7.4% |
| »óÇ° |
- |
¼öÃâ |
389,363 |
0.9% |
1,660,903 |
2.1% |
1,233,535 |
1.9% |
1,537,543 |
3.7% |
| ³»¼ö |
859,356 |
2.1% |
3,456,920 |
4.3% |
623,128 |
1.0% |
3,366,106 |
8.1% |
| ¼Ò°è |
1,248,719 |
3.0% |
5,117,823 |
6.3% |
1,856,663 |
2.9% |
4,903,649 |
11.8% |
| ¿ë¿ªµî |
- |
¼öÃâ |
1,227,389 |
2.9% |
1,905,086 |
2.4% |
1,706,291 |
2.6% |
985,013 |
2.4% |
| ³»¼ö |
7,226,875 |
17.3% |
13,967,848 |
17.2% |
13,238,847 |
20.4% |
8,834,577 |
21.3% |
| ¼Ò°è |
8,454,264 |
20.3% |
15,872,934 |
19.6% |
14,945,138 |
23.1% |
9,819,590 |
23.7% |
°è |
¼öÃâ |
10,484,442 |
25.1% |
25,719,230 |
31.8% |
9,877,380 |
15.2% |
6,193,831 |
14.9% |
| ³»¼ö |
31,212,441 |
74.9% |
55,263,745 |
68.2% |
54,934,722 |
84.8% |
35,310,313 |
85.1% |
| ÃÑ°è |
41,696,883 |
100.0% |
80,982,976 |
100.0% |
64,812,102 |
100.0% |
41,504,144 |
100.0% |
³ª. ÆǸŰæ·Î ¹× ÆǸŹæ¹ý µî
(¥¡) ÆǸŰæ·Î
´ç»ç´Â °íÁ¤°í°´¿¡ ´ëÇÑ ÆǸŴ ´ëºÎºÐ Á÷Á¢ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¼öÃâ(½Å±Ô°í°´) ¹× ¿¹¿ÜÀûÀÎ °æ¿ì ´ë¸®Á¡À» ÅëÇÏ¿© ÆǸÅÇϱ⵵ ÇÕ´Ï´Ù.
(¥¢) ÆǸŹæ¹ý
´ç»ç´Â ¼öÁÖ, ¼³°è, ÀÚÀçÁ¶´Þ, Á¶¸³°øÁ¤, Å×½ºÆ®, ³³Ç°µîÀÇ °úÁ¤À» ÅëÇÏ¿© ÃÖÁ¾ÆǸŰ¡ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸ÅÃâ °áÁ¦Á¶°ÇÀº ¼¼±Ý°è»ê¼ ¹ßÇà ÈÄ 15ÀÏÀ̳»¿¡ Çö±ÝÀԱݵǰųª, 15ÀÏÀ̳»¿¡ ÀüÀÚ¾îÀ½(¸¸±â2°³¿ù)À» ¼ö·ÉÇÏ´Â µî °Å·¡Ã³º°·Î »óÀÌÇÕ´Ï´Ù.
(¥£) ÆǸÅÀü·«
¨ç ³»¼ö : ÇöÀç±îÁö È®º¸ÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶¾÷ü¿ÍÀÇ ±ä¹ÐÇÑ ÇùÁ¶°ü°è¸¦ À¯ÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© °øµ¿±â¼ú°³¹ß°ú °øµ¿Æ¯ÇãÃâ¿ø µî ´Ù¾çÇÑ ±â¼ú ¹× ÀÎÀû±³·ù¸¦ ÅëÇØ ¼ö¿äÀÚÀÇ ¿ä±¸¸¦ »çÀü¿¡ ÆľÇ, ½ÅÁ¦Ç°ÀÇ °³¹ß ¹× ÆǸſ¡ ÁÖ·ÂÇÒ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù. ÇÑÆí ´ç»ç´Â ±¹³» ½ÃÀå¿¡¼ Burn Wet Scrubber Àü¹®¾÷ü·Î¼ÀÇ ÀÎÁöµµ°¡ ³ôÀ¸¸ç, ¶ÇÇÑ ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸°¡ °è¼ÓÀûÀ¸·Î Dry Scrubber³ª Heat Wet Scrubber º¸´Ù´Â Burn Wet ScrubberÂÊ¿¡ ÁýÁߵǹǷΠºñ·Ï ´ç»ç°¡ ¸ðµç Á¾·ùÀÇ Scrubber¸¦ °³¹ß, »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´É·ÂÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÀ½¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í, Burn Wet Scrubber ÆǸſ¡ Àü·«ÀÇ ÃÊÁ¡À» ¸ÂÃß°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD°øÁ¤ÀÇ ´ëÇüÈ Ãß¼¼·Î ÀÎÇÏ¿© °¡½ºÃ³¸®ÀÇ ´ë¿ë·®À» ó¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ´ë¿ë·® Burn Wet ¹æ½Ä ¹× °í¿Â Heater ¹æ½ÄÀÇ Scrubber°¡ ¿ä±¸µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼, ÀÚü±â¼ú·Â°ú °³¹ß´É·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °æÀï¾÷ü¿ÍÀÇ Â÷º°È Àü·«À» ±¸»çÇϸç, Áö¼ÓÀûÀÎ ¿ø°¡Àý°¨À» ÅëÇÏ¿© °¡°Ý °æÀï·Âµµ °ÈÇØ°¡°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¨è ÇؿܼöÃâ : ´ç»ç´Â 2005³â ´ë¸¸¾÷ü¿Í Áß±¹ ¹× ´ë¸¸½ÃÀå¿¡ ´ëÇÑ ´ë¸®Á¡(Agent)°è¾àÀ» ü°áÇÏ¿©, ÇöÀç ´ë¸®Á¡À» ÅëÇÑ ³³Ç°(»ùÇÃ)ÀÌ ÁøÇàÁß¿¡ ÀÖÀ¸¸ç, ¹Ì±¹½ÃÀå È®´ë¸¦ À§ÇÏ¿© 2011³â ¹Ì±¹ ´ë¸®Á¡(Agent)°è¾àÀ» ü°áÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ÇØ¿ÜÁøÃâ¿¡ Àû±Ø´ëÀÀÇϱâ À§ÇÏ¿© ¹Ì±¹¿¡ ÇöÁö¹ýÀÎÀ» ¼³¸³ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
6. ½ÃÀåÀ§Çè°ú À§Çè°ü¸®
°¡. ½ÃÀåÀ§Çè
´ç»ç´Â ±Ý¸®, »óÇ°°¡°Ý, ȯÀ² ¹× ±âŸ °ü·Ã¿ä¼Ò µî ½ÃÀ庯¼ö°¡ ºÒ¸®ÇÏ°Ô º¯µ¿ÇÏ¿© ÀÚ»êÀ̳ª ºÎä, ¼ÕÀÍ µîÀÌ ¿¹»óÄ¡ ¸øÇÑ ¼Õ½ÇÀ» ÀÏÀ¸Å³¼ö ÀÖ´Â ½ÃÀåÀ§ÇèÀÌ ¾î´ÀÁ¤µµ Á¸ÀçÇÏÁö¸¸, À繫±¸Á¶ÀÇ °ÇÀü¼º ¹× Áö¼Ó°¡´ÉÇÑ °æ¿µ½ÇÇöÀ» ¸ñÇ¥·Î ½ÃÀåÀ§ÇèÀ» ÁÙÀ̴µ¥ ³ë·ÂÀ» ´ÙÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
³ª. À§Çè°ü¸®
´ç»ç´Â Áß¿ä°áÁ¤»çÇ׿¡ ´ëÇÏ¿© ³»ºÎÀü°á±ÔÁ¤¿¡ µû¸¥ °áÀ縦 µæÇÑÈÄ ½ÃÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, À繫ºÎ¼¿¡¼ ȯÀ§Çè µî¿¡ ´ëÇÑ °ü¸®¸¦ ÁÖ°üÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
7. ÆÄ»ý»óÇ°°Å·¡ ÇöȲ
´ç»ç´Â ¿ÜȸÅÃâä±Ç°ú °ü·ÃÇÏ¿© ȯÀ²º¯µ¿ À§ÇèÀ» ȸÇÇÇÒ ¸ñÀûÀ¸·Î Áß¼Ò±â¾÷ÀºÇà(ÁÖ)°ú ¼±¹°È¯ ¸Åµµ°è¾àÀ» ü°áÇÏ¿´À¸¸ç, 2011³â 2¿ù 25ÀÏ Åëȼ±µµ°è¾àÀÌ Á¾·áµÇ¾î º¸°í¼ Á¦ÃâÀÏ ÇöÀç ¿ÜȸÅÃâä±Ç°ú °ü·ÃµÈ À¯È¿ÇÑ ÆÄ»ý»óÇ°Àº ¾ø½À´Ï´Ù.
8. °æ¿µ»óÀÇ ÁÖ¿ä°è¾à
| °è¾à¸í |
°è¾àü°áÀÏ |
°è¾à»ó´ë¹æ |
³»¿ë |
ºÎµ¿»ê¸Åµµ
°è¾à |
09.01.22 |
Çѱ¹ÅäÁöÁÖÅðø»ç |
µ¿Åº¼ÒÀç ºÎµ¿»ê(ÅäÁö ¹× ÁöÀå¹°)¸Å°¢ |
ºÎµ¿»ê¸Å¸Å
°è¾à |
11.04.29 |
Çѱ¹ÅäÁöÁÖÅðø»ç |
µ¿Åº¼ÒÀç ºÎµ¿»ê(ÀϹݻê¾÷´ÜÁö)¸ÅÀÔ |
| BW¹ßÇà°è¾à |
11.08.05 |
ÇϳªÀºÇà |
Á¦1ȸ ¹«º¸Áõ ºÐ¸®Çü »ç¸ð ½ÅÁÖÀμö±ÇºÎ»çä Àμö °è¾à |
| °øÀå½ÅÃà°è¾à |
11.10.19 |
ÇØÀ¯Á¾ÇհǼ³ |
µ¿Åºº»»ç(ÀϹݻê¾÷´ÜÁö) ½ÅÃà |
9. ¿¬±¸°³¹ßÈ°µ¿
°¡. ¿¬±¸°³¹ß ´ã´çÁ¶Á÷
| ±¸ºÐ |
¿î¿µ¹æ¾È |
½Ã½ºÅÛ, ±â±¸¼³°è
¹× ƯÇã°ü¸® |
¨ç ¾¾Äö½º ȸ·Î¼³°è
¨è Á¦¾îÇÁ·Î±×·¥ (H/W, S/W) °³¹ß, ¼³°è
¨é ±â¼ú±³À° ¿î¿µ
¨ê ±â±¸¹° ¼³°è ¹× ºÐ¼®
¨ë ÀåÄ¡ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ¼³°è
¨ì ±â±¸¹° °ü¸®±³À° ¿î¿µ
¨í ƯÇãÃâ¿ø/À¯Áö, ¹ßÇ¥µÈ ±â¼ú¹®Çå Á¶»ç
¨î ¿¬±¸Áö¿ø, °ü¸®, ¿¬±¸±âȹ |
³ª. ¿¬±¸°³¹ßºñ¿ë(º°µµ±âÁØ)
| °ú ¸ñ |
Á¦14±â ¹Ý±â |
Á¦13±â |
Á¦12±â |
Á¦11±â |
ºñ°í |
| ¿ø Àç ·á ºñ |
409,679 |
1,173,574 |
1,056,553 |
249,365 |
- |
| ÀÎ °Ç ºñ |
1,523,339 |
3,071,079 |
1,820,788 |
979,011 |
- |
| °¨ °¡ »ó °¢ ºñ |
58,183 |
106,519 |
63,232 |
4,663 |
- |
| À§ Ź ¿ë ¿ª ºñ |
1,356,391 |
841,277 |
458,353 |
- |
- |
| ±â Ÿ |
709,426 |
690,087 |
1,015,112 |
728,273 |
- |
| ¿¬±¸°³¹ßºñ¿ë °è |
4,057,018 |
5,882,536 |
4,414,038 |
1,961,312 |
- |
ȸ°è
ó¸® |
ÆǸźñ¿Í °ü¸®ºñ |
134,647 |
390,343 |
125,475 |
64,491 |
- |
| Á¦Á¶°æºñ |
3,922,371 |
5,492,193 |
4,288,563 |
1,896,821 |
- |
| °³¹ßºñ(¹«ÇüÀÚ»ê) |
- |
- |
- |
- |
- |
¿¬±¸°³¹ßºñ / ¸ÅÃâ¾× ºñÀ²
[¿¬±¸°³¹ßºñ¿ë°è¡À´ç±â¸ÅÃâ¾×¡¿100] |
10.03% |
7.26% |
6.81% |
4.66% |
- |
´Ù. ¿¬±¸°³¹ß ½ÇÀû
| ±¸ºÐ |
¿¬±¸°úÁ¦¸í |
¿¬±¸
±â°ü |
¿¬±¸°á°ú ¹× ±â´ëÈ¿°ú |
| Chiller |
¿Àü¼ÒÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ
¹ÝµµÃ¼°øÁ¤¿ë Chiller°³¹ß |
ÀÚü |
¨ç300mm etch°øÁ¤¿¡¼ ´ë¿ë·®È ¹× ÁýÀûÈ¿¡ ´ëÇÑ Àû±ØÀûÀÎ ´ëÀÀ
¨è ºü¸¥¿ÂµµÁ¦¾î ÀÀ´ä¼º ½ÇÇöÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼Á¦Á¶ ¼öÀ²Áõ´ë ±â¿©
¨é ÃÖÀûÀ¸·Î ¿¡³ÊÁö»ç¿ë systemÀû¿ëÀ¸·Î ¿îÀüºñ¿ëÀý°¨(50%Àý°¨)
¨ê »õ·Î¿î Á¦Ç°±º ÁøÀÔÀ¸·Î ȸ»ç¸ÅÃâÁõ´ë ¿¹»ó |
| Prober¿ë Chiller °³¹ß |
ÀÚü |
¨ç ±ØÀú¿Â³Ãµ¿¹æ½Ä(-100¡É) Àû¿ëÀ¸·Î À¯»ç¿ÂµµÀû¿ëÀåºñ °³¹ß°¡´É
¨è ªÀº ½Ã°£¿¡ dual loop ¸¦ µ¿½Ã¿¡ Hot & Cold ¿Âµµ ´ëÀÀ
¨é ÇؿܽÃÀå¿¡¼ÀÇ ¿ìÀ§¼º È®º¸(ÇöÀç ÀϺ»»ç°¡ Àü¼¼°è °ø±Þ Áß) |
| Scrubber |
Plasma Scrubber °³¹ß |
ÀÚü |
¨ç Plasma Çü¼º Àü±ØÀÇ ±¸Á¶¼³°è °³¼±À¸·Î Àå½Ã°£ »ç¿ë°¡´É
¨è ¿¬·á°ø±Þ ºÎ´ë½Ã¼³ÀÌ ¼³Ä¡µÉ ¼ö ¾ø´Â ±¸Çü Fab ´ëÀÀ
¨é ÃʼÒÇü ¼³°è°¡ °¡´ÉÇϹǷΠ´Ù¾çÇÏ°í ¿¾ÇÇÑ Á¶°ÇÀÇ ¼³Ä¡°¡ °¡´É |
| ´ëÇü Scrubber °³¹ß |
ÀÚü |
¨ç »ç¿ë ¿¬·á ¼Ò¸ð·® Àý°¨ÇüÅ·Π°³¹ß
¨è À¯Áöº¸¼ö ¿î¿µ ¹× È¿À² ºÎºÐ °³¼±
¨é ó¸® ÈÄ ¹è±â°¡½º¿¡ Æ÷ÇÔµÈ Powder ¹× ½À±â¿¡ ´ëÇÑ ±Ùº»ÀûÀÎ ±â¼úÀû ´ëÀÀ
¨ê ´Ù¼öÀÇ µ¿ÀÏ °íÁ¤ Àåºñ¸¦ ÇÑ´ëÀÇ ´ëÇü Scrubber·Î ó¸®ÇÏ¸é¼ ÀüüÀûÀÎ ºñ¿ëÀý°¨ (Ãʱâ ÅõÀÚºñ Saving)
¨ë ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD¿¡ ÇâÈÄ Àû¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â ´ë¿ë·® °øÁ¤Àåºñ¿¡ ´ëÇÑ ´ëÀÀ |
10. ±× ¹Û¿¡ ÅõÀÚÀÇ»ç°áÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ »çÇ×
°¡. ȯ°æ µî °ü·Ã±ÔÁ¦ »çÇ×
Á¤ºÎ³ª Áö¹æÀÚÄ¡´ÜüÀÇ ¹ý·ü ±ÔÁ¤ µî¿¡ ÀÇÇÑ ±ÔÁ¦»çÇ×ÀÌ È¸»çÀÇ ¿µ¾÷È°µ¿ ºñ¿ëÁöÃ⠶Ǵ °æÀï»óÀÇ ÁöÀ§ µî »ç¾÷ÀÇ ¿µÀ§¿¡ Áß¿äÇÑ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â °ü·Ã¹ý±Ô´Â ¾ø½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ´ç»ç´Â ȯ°æ°ü·Ã ±ÔÁ¦»çÇ×ÀÌ ¾øÀ¸³ª ȯ°æº¸ÀüÀ» À§ÇÏ¿© ȯ°æÀÎÁõ½Ã½ºÅÛÀÎ ISO14001À» ÀÎÁõȹµæÇÏ¿© À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
¸®Æ÷Æ®ºÐ¼® 
