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참엔지니어링(009310), 특허취득(기판 지지장치, 이를 구비하...)

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평민

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조회 991 2013/10/11 17:46

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참엔지니어링(009310)은 '기판 지지장치, 이를 구비하는 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법'에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 취득일자는 10-10이다.
전일 오름세를 보이던 주가는 금일 마이너스권으로 접어들었다. 금일 주가는 전일보다 15원(-0.61%) 내린 2445원으로 마감하였다.

참엔지니어링이 최근 1년간 취득했다고 공시한 특허는 아래와 같다.

공시일자 특허명칭 공시당시
등락율
금일공시 기판 지지장치, 이를 구비하는 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법 -0.61%
금일공시 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 -0.61%
13.10.07 기판검사 및 리페어 장치 +1.24%
13.10.07 기판의 돌기형 결함 리페어 장치 +1.24%
13.09.23 웨이퍼 홀더 +0.43%
13.08.16 기판 검사장치 -1.35%
13.07.24 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 -0.2%
13.06.17 기판 식각장치 +2.08%
13.06.17 플라즈마 처리장치 및 플라즈마 처리방법 +2.08%
13.06.11 기판용 지지 유닛 및 이를 이용한 기판 처리 장치 +0.47%
13.05.31 기판처리장치 +2.27%
13.05.31 기판 후면 세정 장치 및 방법 +2.27%
13.05.24 기판검사 및 리페어장치 +3.37%
13.05.24 기판검사 및 리페어장치 +3.37%
13.03.26 플라즈마 에칭 챔버 +1.91%
13.02.14 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 +0.78%
13.01.31 기판 처리 장치 -0.26%
13.01.24 가스 분사 어셈블리 및 기판 처리 장치 +2.03%
13.01.09 플라즈마 처리 장치 및 플라즈마 처리 방법 +4.53%
12.11.22 박막 패터닝 장치 -0.56%


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