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참엔지니어링(009310), 특허취득(기판처리장치...)

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평민

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조회 1,172 2014/10/30 12:58

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참엔지니어링(009310)은 '기판처리장치'에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 취득일자는 10-29이다.
주가는 4일 연속 오름세를 보였으나 금일 마이너스권으로 접어들었다. 오후 12시50분 현재,전일보다 20원(-1.45%) 내린 1360원이다.

참엔지니어링이 최근 1년간 취득했다고 공시한 특허는 아래와 같다.

공시일자 특허명칭 공시당시
등락율
금일공시 기판처리장치 -1.45%
14.05.07 배치식 기판 지지 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 -1.25%
14.05.07 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 -1.25%
14.05.07 기판 처리 장치 -1.25%
13.12.05 플라즈마 식각 장치 -0.53%
13.12.05 가스공급장치 및 이를 구비하는 에지 식각 장치 -0.53%
13.12.04 카트리지 및 그 구동 장치 및 방법 -3.06%
13.11.22 레이저 가공 방법 및 절단 방법 및 다층 기판을 가지는 구조체의 분할 방법 -0.5%
13.11.22 플라즈마 처리장치 -0.5%
13.11.08 막형성 장치 -3.3%
13.11.08 막형성 장치 -3.3%
13.11.08 막형성 장치 -2.2%


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