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반도체장비 생산업체인 유니셈(주)이 미국정부로부터 밀폐형 폐가스 처리장치에 대한 특허를 취득했다. 유니셈은 1998년 5월 미국현지에서 출원했던 밀폐형 폐가스 처리장치에 대한 특허를 지난달 9일에 취득, 15일 특허증빙서류를 제출했다고 16일 공시를 통해 밝혔다. 유니셈은 신형 폐가스처리장치를 4억8,000만원을 들여 개발, 99년 11월에 국내특허를 취득한 다음 작년 12월에서는 대만정부로부터 특허를 취득한 바 있다. 유니셈측은 "기존처리 방식으로 널리 사용되는 WET SCRUBBER방식은 C.V.D 공정에 사용되는 대부분의 독성GAS가 물에 거의 분해되지 않거나 일부분만 분해되는등 그 효율이 낮은 실정"이라며 "이번에 개발한 설비는 기존의 물처리 방식의 단점을 보완, 물 대신 공기를 이용해 처리가 가능하도록 했으며, 2차로 발생되는 부산물까지 포집할 수 있는 CYCLONE UNIT를 설치한 새로운 처리방식의 처리시스템"이라고 특허내용을 소개했다. 이어 향후 사업전망과 관련 "국내외에서 보편적으로 사용되는 ？ 스크러버를 드라이 스크러버로 대체하는 사업이 현재 국내에서 진행중"이라며 "향후 대만현지에서도 관련사업 추진을 계획하고 있다"고 회사측은 밝혔다. 머니투데이