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유니셈은 6일 수용성 폐가스처리장치 및 방법 관련 특허를 취득했다고 공시했다. 유니셈측은 "접촉면적이 크지도록 수용액을 분사시켜 수용성 폐가스를 수용액에 용해한 후, 정제된 가스와 이에 혼합된 수용액을 고온 환경 내부로 공급, 수용액은 기화시킨 뒤 냉각시켜 배출시키는 원리"라며 "수용성 폐가스의 처리효율성을 극대화 시켰다"고 특허내용을 설명했다. 또 "이번 기술은 1억원을 들여 개발, 98년 5월 특허출원을 했었다"며 "현재 반도체 공정에 적용중이고 향후 대량으로 적용이 가능할 것"으로 전망했다. 머니투데이