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국내 처음 EUV 광원 개발: 의학, 신소재, 군사, 디자인 등에

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평민

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조회 3,476 2011/10/06 09:29

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에프에스티의 사업보고서에 나온 것 처럼 신사업 EUV 시스템 추진

EUV 광원은 의학, 신소재, 군사, 디자인 등 다양한 분야에서 사용될 수 있는 기술

 

에프에스티는 자회사,관계사를 통해 국내 처음 EUV 광원을 개발완료 했다.

EUV 광원은 의학, 신소재, 군사, 디자인 등 다양한 분야에서 사용될 수 있는 기술이다.

EUV 광원은 지난 6월 한양대학교 EUV연구소에 공급했으며

다음달에는 미국 버클리EUV 연구소에 납품할 계획이다

12월께 삼성전자에 납품할 예정이다

 

또한 EUV 광원을 개발한 자회사는

정부의 7대 장비 신성장동력 지원 대상으로 선정되기도 했다.

036810

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