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- 플래시메모리 대응, 정밀도 향상으로 검사효율 향상

- 반도체 메인검사장비 기술경쟁력 확보

- 반도체 검사장비 국산화 확대 … 외산검사장비의 수입대체 효과


반도체 웨이퍼 검사장비 전문기업인 프롬써어티(073570, www.from30.co.kr)는 최근 차세대 웨이퍼테스트(Wafer Burn In Test System)시스템인 WTS(모델명 NT3200)의 개발을 목전에 두고 있다.

기존 WBI를 통해 기술력과 성능을 인정받은 프롬써어티는 개발에 착수한지 1년여 만에 개발 완료를 눈앞에 두고 있어 기술력을 다시 한번 인정받는 계기가 될 것으로 전망된다.

WTS는 웨이퍼 상태에서 다양한 디바이스의 불량유무를 사전에 빠른 속도로 검사하여 신뢰성을 향상시키고 반도체 수율향상의 핵심인 재생정보를 분석하는 검사장비이다. WTS는 칩을 최종 조립전에 사전 검사하여 제품의 신뢰성과 생산성을 조기에 확보할 수 있고 생산공정의 단순화로 검사효율성을 향상시킨다.

프롬써어티가 이번에 개발하는 장비는 국산 웨이퍼검사장비중 최초로 칩의 불량 부분을 정확히 파악하는(READ)기능과 분석하는 기능을 실현하여 그 동안 외산 메인테스터에서나 구현되었던 기술을 완성했다.

또한 검사정밀도가 기존의 국산 검사장비보다 2배이상 향상되어 D램보다 정밀한 플래시메모리까지 검사영역을 확대시켜 그동안 이러한 기능을 갈망했던 종합반도체업체의 욕구를 충족시킬 것으로 기대된다.

이번 개발로 그동안 취약했던 반도체 검사장비의 국산화는 물론 반도체 제품의 신뢰성과 생산성 향상, 고가 외산장비의 수입대체효과까지 기대된다.

회사관계자는“ WTS의 개발은 그 동안 국산화 제품의 취약부분으로 여겨졌던 반도체 메인검사장비의 기술경쟁력을 높이는데 큰 공헌을 할 것으로 예상된다”며 “ 큰 폭의 성장을 보이는 플래시메모리까지 검사영역이 확대되어 그 시장전망은 밝은 편”이라고 말했다.

또한 회사측은 “WTS가 개발이 완료되면 기존 WBI, MBT와 함께 새로운 성장의 축으로 작용할 것으로 기대된다”고 예상했다.

[ 2005-01-10 프롬써어티 홍보담당자 ]